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リーク解消
2008-09-30 Tue 18:54
真空容器といいながら、なかなか1Paを切ってくれなかった僕の実験装置。

熱電対の挿入口に明らかなリークが見つかり、シリコングリースでガチガチに固めてみたところ、

下がる下がる!!

これにあわせて、強力なターボ分子ポンプを使ったら10のマイナス4乗オーダーまで下がりました(0.00056Pa)

これで何とか実験が出来そうです

放電洗浄のついでにいろんな圧力でプラズマをつけてみました。


これが0.5Paのプラズマ。 蒼い!
0.5Pa-水素

10Paにあげると

赤くなります。衝突の機会が増えることで、イオン温度が低温側へシフトして、熱放射による放射電磁波が波長の長いほうに移動したんですね。
その分、写真では分かりにくいですが明るさは格段に明るくなります。
10Pa-水素

100Paにすると、
もうプラズマのイオンシースが上の電極にへばりついて強い光を発しています。
こうなると放電は容器内全体にはあまり広がらなくなり、底面のグラウンド電極は暗くなります。
100Pa-水素


今度の実験では、今まで10Paで放電してきたのを100Pa~1000Paまであげてスパッタリングの実験をします。
電子からのエネルギー伝達の機会が増える分、スパッタリング率は上がるかと思うのですが、圧が高い分、そこまで高い温度には上がらないとも考えられるので、今のところどのような結果になるかわからず、楽しみにしつつ、来る実験の「準備の準備」を終えてバイトに向かうのでした・・・。

あ、Css・・・ぐは。
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